기판 내부에 삽입된 공기층(결함층)에 의해 누설전류가 억제되고 출력성능이 개선될 수 있으며, 그것에 의해, 누설전류의 감소가 가능하므로 반도체소자의 대기전력을 감소하여 전체적인 시스템의 전력소모 및 발열을 개선할 수 있는 동시에, 출력전류의 증가가 가능하므로 반도체소자의 속도의 개선 가능
[10 나노시트 반도체소자, 11 기판, 12 절연체(STI), 13 소스 단자, 14 게이트 단자, 15 드레인 단자, 16 나노시트, 17 결함층]
나노시트 반도체소자에 SON (Silicon-On-Nothing) 구조를 적용하여 상기 기판 내부에 형성되는 공기층으로 형성되는 결함층을 포함하여 구성됨으로써, 상기 기판 내부에 형성된 상기 공기층에 의해 OFF 상태에서의 누설전류가 감소되는 동시에, ON 상태에서의 출력전류가 증가될 수 있도록 구성되는 것을 특징