CBNU T-Market
전계효과 트랜지스터 제조 방법에 관한 것으로서, 웨이퍼 상에 하나 이상의 전계효과 트랜지스터 소자를 제작하는 단계 및 상기 각 전계효과 트랜지스터 소자에 전류 어닐링 공정을 진행하는 단계를 포함
반도체 제조 장비는 지능형 반도체 분야에 속하는 기술로, 다양한 반도체 부품과 장치를 생산하기 위해 다양한 제조 공정에서 반도체 제조 장치를 사용할 수 있도록 하는 기술임
반도체 장비 시장은 글로벌 시장에서 일부 선도업체들이 주축이 되어 시장을 이끌어 가고 있으며, 이들 주요 업체들은 TSMC, 삼성전자와 같은 메인 반도체 업체들과 함께 장비의 효율성과 성능을 개선하기 위해 연구 개발에 지속적으로 투자하고 있음
전계효과 트랜지스터를 제조함에 있어서, 특정 트랜지스터 소자에만 짧은시간 동안 높은 전류를 인위적으로 인가하여 전류 어닐링을 진행함으로써, 드레인 출력 특성을 개선할 수 있다는 효과가 있음
웨이퍼 상에서 각 소자마다 개별로 전류를 인가할 수 있으므로, 각 소자별 부분적 열처리가 가능하다는 장점이 있음
전계효과 트랜지스터의 성능 향상을 위한 전류 어닐링 공정을 포함하는 전계효과 트랜지스터 제조 방법을 제공하는데 그 목적이 있음